TEOS2024年01月24日 14:05

9/8/92-9/13/92 TEOS-Ⅲというオプションのトレーニングを受けにSan Joseに行きました。
TEOSというのは液体で、SiH4というガスの代わりに使うものです。
TEOSとN2OガスでSiO2というガラスを生成します。SiH4との違いは、下地が凸凹でもその形状に対応して良く付着することです。ステップカバレッジという性能です。

当時のノートを見ると頻繁に休日出勤していて、でも代休はほとんど取っていませんでした。今思えば、バカです。でも、よく頑張りました、とも思います。

94年6月、三菱西条でのW-CVD立ち上げ時に、土日を利用して徳島までドライブしました。
徳島は私が無線通信士の勉強のために2年居住したところです。
当時行った飲み屋、プレイボーイがまだあって、懐かしかった。奥行きが深い、カウンターが長い店です。17年ぶりでした。

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